日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制。
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日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制。
日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器產品特點：
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命大于等于100萬次
對零點漂移有效的*制
良好的選擇性
全球化的零配件供應：傳感器，分流器，精致元器件日本進口
日本Horiba S48 32/HMT氣體質量流量控制器技術參數：
編號 | 項目 | S48 32/HMT | |
1 | 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min | |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 | |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 | |
4 | 安裝角度 | 任意 | |
5 | 流量控制范圍 | 2%～100% | |
6 | 流量測量范圍 | 0～100% | |
7 | 響應時間 | 2s（T98，設定值的±2% F.S.） | |
8 | 工作環境溫度 | 5℃～50℃ | |
9 | 精度保證溫度 | 15℃～35℃ | |
10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. | |
13 | 工作壓差 | ～5L/min (50～300)kPa(D) | |
14 | 耐壓 | 3MPa | |
15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa?m3/s （He） | |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
17 | 管路接頭 | Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ | |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA | +24VDC (寬電壓+11～+25V), |
19 | 設定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ | 4～20mA； （可定制：1～5V或0～5V） |
20 | 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA | |
21 | 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
22 | 重量(kg) | 0.9 | |
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