美國ALICAT  M 系列 數字式質量流量計產品概述: 

Alicat 的 M 系列數字式質量流量計可快速精地測量過程氣體的質量流量、 體積流量、壓力和溫度。 

Alicat 的 M 系列質量流量計采用專有的內部補償型層流壓差技術，使得大 流量范圍下氣體仍舊保持層流運動，充分補償因壓力和溫度引起的體積流 量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。*有 Alicat 質量流 量計均具有 NIST 可溯源校準證書。 

M 系列質量流量計內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝 方向不敏感。

licat 的 M 系列質量流量計帶有集成式多功能數字顯示屏， 用戶可通多顯示屏按鈕操作在內置 98 種標準氣 體中進行任意切換，同時開放模擬通訊和 RS-232 數字通訊模式。我們為用戶提供廣泛的定制化服務以滿 足各類特殊的項目需要，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲) 1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。 另有耐腐蝕系列(MS 系列)、低壓損系列(MW 系列)和便攜式系列(MB 系列)質量流量計可選。

美國ALICAT  M 系列 數字式質量流量計產品應用: 

Alicat 的 M 系列數字式質量流量計廣泛應用于各行業領域，如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空 鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。多變量測量、 多種氣體標定以及 200:1 量程可調比使得僅用一臺 Alicat 質量流量計便可取代多臺設備發揮的功效。很高 可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 10 毫秒的測量響應速度很大程度優化了氣體測量過程。 

M 系列質量流量計可測量從 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的滿量程的任何流量。

美國ALICAT  M 系列 數字式質量流量計參數: 

0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程

產品性能： M 系列質量流量計

精度(調零后標準條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)  

高精度選配(調零后標準條件下): ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)

高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設備  

精度(雙向流量型號):± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

(調零后標準條件下):F.S:負滿量程到正滿量程

重復性:± 0.2% F.S

零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm  

工作范圍 / 量程可調比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1  

很大可測流量: 128% F.S    

典型響應時間: 10 毫秒(可調整)

啟動預熱時間: < 1 秒      

運行工況: M 系列質量流量計

標準工況 (STP)：25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)  

工作溫度：?10 ~ +50 oC

工作濕度范圍 (非冷凝)：0 ～ 100    

內部很大工作壓力(靜壓)：145 psig

設備允許通過的很大瞬時壓差(入口壓力－出口壓力) ：75 psid    

很限壓力：175 psig

對安裝方式/方向的要求：無  

防護等級：IP40

材質：303 & 302 不銹鋼, Viton?, 硅膠 RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁